Halbleiter sind Materialien – wie Silizium oder Galliumarsenid –, deren elektrische Leitfähigkeit zwischen der von Leitern und Isolatoren liegt. Sie bilden die Grundlage der modernen Elektronik und ermöglichen integrierte Schaltkreise und Mikroprozessoren, die in allen Bereichen von Smartphones bis hin zu industriellen Automatisierungssystemen zu finden sind.
In der präzisionsorientierten Welt der Halbleiterfertigung können selbst geringfügige Prozessschwankungen Auswirkungen auf die Ausbeute, die Qualität und die Lebensdauer der Werkzeuge haben. Die Überwachung kritischer Werkzeugparameter – wie Druck, Durchfluss und Temperatur – ist unerlässlich, um einen stabilen Betrieb aufrechtzuerhalten, die Prozesstoleranzen einzuhalten und die Einhaltung von Sicherheits- und Umweltstandards zu gewährleisten.
DwyerOmega bietet eine umfassende Palette an Sensor- und Steuerungslösungen, die speziell für diese Herausforderungen in Halbleiterwerkzeugen und Subfab-Unterstützungssystemen entwickelt wurden.
Druck
Die Druckmessgeräte von DwyerOmega werden zur Überwachung des Durchflusses zwischen Prozesswerkzeugen und Absaugsystemen eingesetzt.
Serie-2-5000 Kompaktes Niederdruck-Differenzdruckmessgerät
Unser Serie-2-5000 Kompaktes Niederdruck-Dwww.dwyeromega.com/en-us/compact-low-differential-pressure-gauge-no-power-needed-dependable-and-low-cost/p/Series-2-5000">Serie 2-5000 Minihelic ® II ist leicht abzulesen und zu bedienen und für Gesamtdrücke bis zu 30 psig ausgelegt. Sie verfügt über eine abnehmbare Linse und ein hinteres Gehäuse für eine einfache und kostengünstige Wartung.
Serie MP Mini-Photohelic ® Differenzdruckschalter/-manometer
Der Serie-MP Mini-Photohelic ® Differenzdruckschalter/-messgerät kombiniert das bewährte Minihelic ® II-Messgerät mit zwei SPDT-Schaltpunkt-Einstellungen. Der Mini-Photohelic ® Schalter/Messgerät wurde für die Messung und Steuerung von Über-, Unter- oder Differenzdrücken entwickelt, die aus nicht brennbaren und nicht korrosiven Gasen bestehen. Die Manometeranzeige ist unabhängig vom Betrieb des Schalters, und der Schaltzustand ist über LED-Anzeigen an der Vorder- und Rückseite des Manometers sichtbar.
Digihelic ® Controller der Serie DHC
Der Digihelic ® Regler der Serie DHC ist ein 3-in-1-Gerät mit digitaler Anzeige, Steuerrelais-Schaltoptionen und einem Transmitter mit Strom- und Spannungsausgängen. Durch die Kombination dieser drei Funktionen können mehrere Geräte durch ein einziges Produkt ersetzt werden, was Lagerplatz, Installationstime und Kosten spart.
Die Serie DHC ist das ideale Gerät für Druck-, Geschwindigkeits- und Volumenstromanwendungen, das in mehreren gängigen technischen Einheiten mit optionalen unidirektionalen oder bidirektionalen Messbereichen misst. Diese Geräte erreichen eine Genauigkeit von 1,5 % oder besser in extrem niedrigen Messbereichen und eine Genauigkeit von 0,5 % für Messbereiche ab 1 in w.c.
Serie 3000MR-3000MRS Photohelic ® Schalter/Messgerät
Unter Verwendung von Halbleitertechnologie bietet die Photohelic ® Schalter/Manometer der Serie 3000MR-3000MRS die Funktion eines präzisen, hochgradig wiederholbaren Differenzdruckschalters mit einem großen, gut ablesbaren analogen Manometer, das auf dem bewährten, langlebigen Magnehelic ® Manometer-Design basiert. Die Schalterstellung lässt sich mit großen externen Knöpfen auf der Manometerfront leicht einstellen. Die Manometeranzeige wird durch den Betrieb des Schalters nicht beeinflusst und zeigt auch bei Stromausfall genaue Werte an. Die Geräte können mit den mitgelieferten Befestigungsteilen bündig oder aufgesetzt montiert werden.
Serie-MDS Mini-Druckschalter
Der Mini-Druckschalter der Serie MDS ist mit einer Doppelmembran ausgestattet, um eine Fehlauslösung durch Stöße und Vibrationen zu verhindern. Dieser kostengünstige Druckschalter hat eine Lebensdauer von mindestens 20 Millionen Zyklen und eine extrem schnelle Ansprechzeit.
Durchfluss
Die Durchflussmesser von DwyerOmega überwachen die Inertgase, die zum Spülen der Prozesswerkzeugkammern verwendet werden.
Präzisions-Durchflussmesser der Serie RM
Series-RM Rate-Master ® Präzisionsdurchflussmesser sind eine Reihe von universell einsetzbaren, direkt ablesbaren Präzisionsdurchflussmessern, die sowohl für Gas- als auch für Flüssigkeitsanwendungen geeignet sind. Diese Durchflussmesser haben einen langen Betrieb und ein robustes, bruchsicheres Gehäuse aus Polycarbonat.
Dank Präzision im Spritzguss um einen präzisen konischen Stift und spezieller integrierter Strömungsführungen, die die Bewegung des Schwimmers stabilisieren, zeichnen sie sich außerdem durch hohe Wiederholbarkeit und erhöhte Genauigkeit aus.
Serie MM Custom Mini-Master ® Durchflussmesser
Serie MM Custom Mini-Master ® Durchflussmesser eignen sich sowohl für Gas- als auch für Flüssigkeitsanwendungen. Ihre Präzisionsformung ermöglicht eine hohe Wiederholbarkeit, während die weiße Rückseite des Durchflussrohrs eine bessere Sichtbarkeit des Schwimmers ermöglicht und somit die Genauigkeit der Ablesung erhöht. Mini-Master ® Durchflussmesser sind kompakt und benötigen nur wenig Platz.
Serie-VF Acryl-Durchflussmesser für Gas und Flüssigkeiten
Serie-VF Acryl-Durchflussmesser für Gas und Flüssigkeiten sind eine Reihe von direkt ablesbaren, mit Präzision gefertigten Durchflussmessern mit klarem Acrylgehäuse, die sowohl für Gas- als auch für Flüssigkeitsanwendungen geeignet sind. Die Herstellung der Visi-Float ® -Durchflussmesser basiert auf über 60 Jahren Erfahrung in der Bearbeitung von Acryl-Messgeräten. Der solide, klare Acrylkörper und die konischen Bohrungen werden für eine hohe Wiederholbarkeit der Messwerte geschnitten und mit Präzision gefertigt. Die direkt ablesbaren Skalen sind heiß in den Kunststoff eingeprägt und haben einen glatten weißen Hintergrund, was eine höhere Genauigkeit der Ablesung und einen längeren Betrieb des Produkts ermöglicht.
Durchflussmesser der Serie TVA aus Fluorpolymer für hochreine und korrosive Flüssigkeiten
Fluorpolymer-Durchflussmesser der Serie TVA für hochreine und korrosive Flüssigkeiten sind ideal für Anwendungen mit hochreinen oder korrosiven Flüssigkeiten. Diese Durchflussmesser-Serie verfügt über eine Skala von 0 bis 10, die eine diskrete Durchflussrate angibt.
Fluorpolymer-Durchflussmesser der Serie VAT für hochreine Flüssigkeiten
Der Serie-VAT-Fluorpolymer-Durchflussmesser für hochreine Flüssigkeiten ist ideal für Anwendungen mit hochreinen oder korrosiven Flüssigkeiten. Diese Durchflussmesser-Serie verfügt über eine Skala von 0 bis 10 zur Durchflussanzeige. Jedes Gerät wird einzeln auf Dichtheit geprüft und erreicht eine Dichtheit von 1 x 10-7 sccs Helium oder besser.
Kolben-Durchfluss-Schalter der Serie P2 für Luft und Wasser
Temperatur
Unsere Instrumente regeln Füllstände in Prozesskammern, Umkehrosmose-Entionisierungsanlagen (RO/DI), Wasserheizungen, Heißlösungsmittel- und Säureprozessen.
Kompakte 1/32-DIN-Temperatur-/Prozessregler der Serie 32A
Kompakte 1/32-DIN-Temperatur-/Prozessregler der Serie 32A setzen neue Maßstäbe in Bezug auf Leistung, Flexibilität und Preis-Leistungs-Verhältnis im 1/32-DIN-Bereich. Diese Reglergruppe bietet ein Höchstmaß an Funktionen in der kompaktesten Standardgröße der Branche. Die Benutzerfreundlichkeit dieser 1/32-DIN-Temperatur-/Prozessregler mit zwei Displays ist gewährleistet.
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