Überwachungslösungen für HEPA/ULPA-Räume in der Halbleiterindustrie

Die HEPA/ULPA-Räume befinden sich im Bereich über einem Halbleiter-Reinraum. Dieser Bereich verfügt über Filteranlagen, die Partikel aus der Außenumgebung entfernen. Ein HEPA-Filter (High Efficiency Particulate Air) und/oder ein ULPA-Filter (Ultra Low Particulate Air) wird verwendet, um kleine Verunreinigungen aufzufangen und zu verhindern, dass sie in den Reinraum der Fabrik gelangen. Der Reinraum der Fabrik muss frei von Partikeln sein, da dort Halbleiterbauelemente wie mikroskopisch kleine Transistoren hergestellt werden. Etwas so Kleines wie ein Molekül aus einem Duftstoff kann einen dieser Transistoren zerstören, weshalb eine ordnungsgemäße Filterung ein wesentlicher Bestandteil des Prozesses der Halbleiterherstellung ist.

Messgeräte wie das Magnehelic®-Messgerät von DwyerOmega ermöglichen eine schnelle visuelle Überprüfung des Drucks über die Filter hinweg. Wenn der Differenzdruck über einem Filter gering ist, ist dies ein Zeichen dafür, dass der Luftstrom relativ ungehindert ist. Wenn hingegen ein erheblicher Druckunterschied über dem Filter besteht, ist dies ein Zeichen dafür, dass der Luftstrom aufgrund einer Behinderung, wie z. B. einer Partikelansammlung auf dem Filter, verringert ist. Die Überwachung des Differenzdrucks hilft dabei, festzustellen, wann ein Filterwechsel erforderlich ist oder ob Dämpferblockaden und Fehlfunktionen vorliegen. Das bewährte Magnehelic®-Messgerät verfügt über ein langlebiges und robustes Gehäuse mit hochwertigen Komponenten für eine lange Lebensdauer. DwyerOmega bietet auch eine hochgenaue Version des Magnehelic®-Messgeräts an, die eine Genauigkeit von 1 % des Skalenendwerts, eine verspiegelte Skalenauflage und eine 6-Punkt-Kalibrierung mit Zertifizierung umfasst.

Durch die Messung der in den Raum eintretenden und aus ihm austretenden Luftgeschwindigkeit lässt sich die Luftwechselrate pro Stunde (ACH) bestimmen. Die Luftwechselrate pro Stunde gibt an, wie oft pro Stunde die Luft in einem Reinraum durch saubere, gefilterte und aufbereitete Luft ersetzt wird. Der Luftgeschwindigkeits-Transmitter der Serie 641RM mit Fernsonde verfügt über einen hochpräzisen beheizten Durchfluss-Sensor mit Fernsondenkonstruktion. Das 6-Fuß-Kabel des Geräts verbindet die Messsonde mit dem Gehäuse und ermöglicht die Montage des Gehäuses an einer besser zugänglichen Stelle.

Da HEPA-Filter nicht dafür ausgelegt sind, gasförmige Partikel wie Kohlenmonoxid herauszufiltern, ist es wichtig, den Kohlenmonoxidgehalt im Raum zu überwachen und zu kontrollieren. Dadurch wird verhindert, dass Kohlenmonoxidpartikel den Reinraum verunreinigen. Der Kohlenmonoxid-Transmitter der Serie CMT200 bietet einen vor Ort wählbaren Strom- oder Spannungsausgang, der proportional zur Gaskonzentration ist.

Mit einem Raumstatusmonitor können mehrere Parameter und bis zu drei Räume von einem zentralen Standort aus überwacht werden. Der Serie RSMC StabiliSENSE™ Critical Room Status Monitor wurde für kritische Anwendungen mit niedrigem Differenzdruck entwickelt, die eine strenge Drucküberwachung und Alarmkontakte erfordern. Der RSMC ist ein Komplettsystem mit einer grafischen Touchscreen-Bedienerschnittstelle, auf der drei Parameter angezeigt werden können: Druck, relative Luftfeuchtigkeit, Temperatur oder Luftwechsel. Außerdem wird der Türstatus (offen/geschlossen) angezeigt. Anhand der Farbänderungen auf dem Grafikdisplay lässt sich klar erkennen, ob die Parameter innerhalb des zulässigen Messbereichs (grün), des Warnbereichs (gelb) oder außerhalb des zulässigen Messbereichs (rot) liegen.