Einfach ausgedrückt ist ein Halbleitertransistor ein Bauteil mit bestimmten elektronischen Eigenschaften, wodurch er als Komponente in Mikrochips und modernen Elektronikgeräten wie Telefonen, Laptops und vielem mehr eingesetzt werden kann. Da diese Komponenten klein sind und Präzision bei der Fertigung erfordern, gibt es spezielle Einrichtungen für ihre Herstellung.
Diese Einrichtungen bestehen aus mehreren Ebenen, darunter Luftbehandlungsanlagen und Abluftwäscher, HEPA-Raum, Reinraum und Subfab-Bereiche. Die Kontrolle des Differenzdrucks innerhalb der Einrichtung ist für die Sicherheit sowohl der Geräte als auch des Personals von entscheidender Bedeutung.
Im Reinraum:
Halbleiter-Prozesswerkzeuge befinden sich in einem Reinraum der Fabrik. Teile dieser Werkzeuge (z. B. Bereiche der Wartung der Kammer, Gas- und Chemikalien-Gehäuse usw.) sind an ein lokales Abgassystem angeschlossen. Prozesswerkzeuge müssen an ein lokales Abgassystem angeschlossen werden, da die Gefahr einer versehentlichen Freisetzung giftiger Dämpfe, Gase und/oder Dämpfe in die Umgebung besteht. Im Falle einer Abschaltung der Absauganlage sorgt der DwyerOmega Photohelic®-Schalter/Messgerät dafür, dass das Prozesswerkzeug in einen isolierten/sicheren Zustand versetzt wird, um diese potenziellen Gefahren im Notfall einzudämmen.
In der Subfab:
Halbleiter-Subfabs befinden sich direkt unter den Reinräumen der Fabrik. In der Subfab werden Zusatzgeräte wie Ultrahochvakuumpumpen, Absaugsysteme, Kühler, Wärmetauscher und andere verschiedene Geräte mit den direkt darüber liegenden Prozesswerkzeugen vernetzt. Unter diesen Geräten verwenden Absaugsysteme Photohelic®-Schalter/Messgeräte von DwyerOmega an ihren Abluftöffnungen. Die Abgasreinigungsanlagen sind zwischen den Prozesswerkzeugen, den Ultrahochvakuumpumpen und den Subfab-Hausgaswäschersystemen miteinander vernetzt. Die Auslassöffnungen sind direkt an das Subfab-Hausgaswäschersystem angeschlossen und müssen aufgrund einer Reihe von gefährlichen Nebenprodukten und Gasen, die gereinigt werden, überwacht werden. Im Falle einer Abschaltung des Hauswäschers trägt der Photohelic®-Schalter/Messgerät dazu bei, dass das Abgasreinigungssystem in einen isolierten/sicheren Zustand abgeschaltet wird, um diese potenziellen Gefahren im Falle einer Notabschaltung einzudämmen.
DwyerOmega Photohelic®-Schalter/Messgeräte sorgen außerdem dafür, dass die richtige Ausbalancierung auf das einzelne Werkzeug abgestimmt und auf die Parameter des Systembesitzers eingestellt ist. Seine Halbleiterbauweise wird seit Jahrzehnten in der Halbleiterindustrie eingesetzt und ist nach wie vor die erste Wahl für die Überwachung des Differenzdrucks und die Sicherheit in Halbleiterfabriken auf der ganzen Welt.
Der Photohelic®-Schalter/Manometer der Serie 3000MR/3000MRS kombiniert die Funktion eines präzisen, hochgradig wiederholbaren Differenzdruckschalters mit einem großen, gut ablesbaren analogen Manometer. Die Manometeranzeige wird durch den Betrieb des Schalters nicht beeinflusst und zeigt auch bei Stromausfall genaue Werte an. Als zusätzliche Maßnahme zur Sicherheit verfügt die Serie 3000MR/3000MRS über optionale manipulationssichere Knöpfe, die bei der Bestellung durch Hinzufügen von „-TAMP” am Ende der Modellnummer bestellt werden können.
Wenn es darauf ankommt, muss es DwyerOmega sein.
DwyerOmega®-Produkte werden weltweit in vielen kritischen Anwendungen in verschiedenen Branchen eingesetzt. Von der Gebäudesteuerung bis hin zu medizinischen Anwendungen spielen DwyerOmega®-Produkte eine wichtige Rolle für die Sicherheit der Menschen.
Wenn Sie Fragen zur Auswahl von Produkten für Ihre Anwendung haben, stehen Ihnen die Anwendungsingenieure von DwyerOmega telefonisch unter (219) 879-8868 x6402 oder per E-Mail unter tech@DwyerOmegamail.com zur Verfügung.
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