FMA5000A-Series

Gas-Massenregler mit oder ohne integrierte Anzeige

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NIST-rückführbare Kalibrierung
Misst und steuert den Gasmassenstrom ohne Temperatur- oder Druckkompensation
Erhältlich in wirtschaftlichem Aluminium oder korrosionsbeständigem 316 SS
Neigbares LCD-Display für einfache Ablesbarkeit

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FMA5000A-Series

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Datenblatt

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Genauigkeit Detail Für Einheiten mit einem vollen Messbereich von weniger als 100 SLM ± 1 % FS, einschließlich Linearität über 15 bis 25 °C (59 bis 77 °F) und 0,7 bis 4,2 kg/cm² (10 bis 60 psia). Für Einheiten ≥ 100 SLM voller Messbereich: ± 1,5 % FS, einschließlich Linearität über 15 bis 25 °C (59 bis 77 °F) und 0,7 bis 4,2 kg/cm² (10 bis 60 psia) von 20 bis 100 % des Bereichs; ± 3 % FS von 0 bis 20 % des Bereichs
Höhenempfindlichkeit Horizontaler Durchflussweg, keine Kalibrierungsverschiebung bis zu +20 Grad Neigung
Kalibrierung NIST-Zertifikat
Steuerventil Magnetventil
Elektrischer Ausgang 4 bis 20 mA, 0 bis 5 Vdc
Gehäuse-Nennwerte Inst. Stufe II/Poll. Grad II (IEC 60664)
Feuchtigkeitsbereich 0 bis 70 % rF
Leckrate unter Vakuum weniger als 10^⁻⁷ cm³ He/s
Betriebsdruck, min. 0 psi
Betriebsdruck Hinweis 35 kg/cm² Überdruck (500 psig); 70 kg/cm² Überdruck (1000 psig) für Messbereiche bis zu 100 SLPM. 1,76 kg/cm (25 psig) optimal
Betriebstemperatur, max. 50 °C
Betriebstemperatur, min. 5 °C
Ausgangsdetails Linear 0 bis 5 Vdc: Mindestlast 1000 V 4 bis 20 mA: Schleifenwiderstand 50 bis 500 V, max. Rauschen ± 20 mV
Ausgangssignal Strom, Spannung
Druckkoeffizient 0,01 % FS/psi
Druckabfall, max. 50 psi
Wiederholgenauigkeit ± 0,5 %
Reaktionszeit 5 s
Anmerkung zur Reaktionszeit 5 Sekunden bis auf ± 2 % des eingestellten Durchflusswerts im Bereich von 25 bis 100 % FS
Serien-ID FMA5000A-Series
Versorgungsstrom Bis zu 800 mA
Versorgungsspannung 12 bis 15 VDC
Temperaturkoeffizient 0,15 % FS/°C
Turndown-Verhältnis 40:1
Volumenstrom, min. 0.25 SCCM

Die FMA5400A/5500A Serie elektronische Gas-Massendurchflussregler ermöglichen die Steuerung des Durchflusses einer Vielzahl von Gasen von 0-10 SCCM bis zu 100 SLM. Durch die Nutzung des Wärmetransfers durch ein beheiztes Rohr zur Messung der molekularen Gasdurchflussrate misst die FMA5400A/5500A den direkten Gas-Massendurchfluss, ohne dass eine Kompensation für Schwankungen der Gastemperatur oder des Drucks (innerhalb der angegebenen Grenzen) erforderlich ist. Sie sind in einer wirtschaftlichen Aluminium-/Messingausführung für typische Gasdurchflüsse und in einer 316 SS-Ausführung für Anwendungen mit höherer Korrosionsbeständigkeit erhältlich. Die FMA5400A Serie ohne integrierte Anzeige wird mit sowohl einem analogen 0-5 VDC als auch einem 4 bis 20 mA Ausgang für die Fernüberwachung geliefert; die FMA5500A Serie verfügt über eine integrierte 3-1/2-stellige Anzeige und einen analogen Ausgang. Die Anzeige ist um 90 Grad neigbar für eine bequeme Sicht. Die Anzeige ist standardmäßig kalibriert, um direkt in SCCM oder SLM für Stickstoff auszulesen (andere Gaskalibrierungen sind auf Sonderbestellung erhältlich).

Die FMA5400A/5500A Massendurchflussregler verfügen über ein integriertes elektromagnetisches Ventil, das normalerweise geschlossen ist, um eine konstante Durchflussrate unabhängig von Schwankungen des Ein- oder Auslassdrucks aufrechtzuerhalten. Der Sollwert wird entweder lokal über ein Potentiometer, das durch ein Zugangsfenster im Gehäuse zugänglich ist, oder fernüber ein analoges 0-5 VDC oder 4-20 mA Signal (feldmäßig wählbar) gesteuert. Die FMA5400A/5500A Serie benötigt eine Stromversorgung von 12 bis 26 VDC bei maximal 800 mA, die durch das FMA545PW Steckernetzteil bereitgestellt werden kann. 12 bis 15 VDC bei maximal 800 mA (nur Größen 43,44 und 45). Die Modellnummer FMA545C (separat geliefert) stellt einen passenden 15-poligen „D“-Stecker mit 8 Fuß geschirmtem Kabel zur Verfügung, um die analogen Ausgangssignale und die Stromversorgung anzuschließen. Das mit der FMA5500A Serie gelieferte LCD ist über einen modularen Stecker mit der unteren Elektronik verbunden. Das LCD kann durch den Kauf eines FMA18RC Fernkabelsatzes fernplatziert werden – dann muss die eigene Montage für die Panelbefestigung des LCD gebaut werden.

SPEZIFIKATIONEN
Genauigkeit: Für Geräte mit Volllastbereich unter 100 SLM ± 1 % FS, einschließlich Linearität über 15 bis 25 °C (59 bis 77 °F) und
0,7 bis 4,2 kg/cm² (10 bis 60 psia). Für Geräte ≠¥ 100 SLM Volllastbereich: ± 1,5 % FS, einschließlich Linearität über 15 bis 25 °C (59 bis 77 °F) und 0,7 bis 4,2 kg/cm² (10 bis 60 psia) von 20 bis 100 % des Bereichs; ± 3 % FS von 0 bis 20 % des Bereichs.
Wiederholbarkeit: ± 0,5 % des vollen Messbereichs
Temperaturkoeffizient: 0,15 % FS/°C
Druckkoeffizient: 0,01 % FS pro psi (0,07 bar)
Maximaler Druckabfall: 50 psid
Ansprechzeit: 5 Sekunden bis ± 2 % des eingestellten Durchflusswerts über 25 bis 100 % FS
Maximaler Gasdruck: 70 kg/cm² Messdruck (1000 psig) (für Geräte bis 100 SLM); 35 kg/cm² Messdruck (500 psig); 1,76 kg/cm (25 psig) optimal
Gas- und Umgebungstemperatur: 5 bis 50 °C (41 bis 122 °F)
Dichtheit: 1 x 10^-7 cc/sec Helium max. nach außen
Materialien im Fluidkontakt:
Aluminium-Modelle: Eloxiertes Aluminium, 316 SS, Messing und FKM-O-Ringe
Edelstahl-Modelle: 316 SS und FKM-O-Ringe
Ausgangssignal:
Linear 0 bis 5 VDC: Mindestlast 1000 Ω
4 bis 20 mA: Schleifenwiderstand 50 bis 500 Ω, max. Rauschen ± 20 mV
Transducer-Stromversorgung: 12 bis 26 VDC @ 800 mA Standard Turndown-Verhältnis: 40:1
Versandgewicht: 1,8 kg (4 lb)
Konformität: EN55011 Klasse 1, Klasse B; EN50082-1
Lagesensitivität: Bei horizontalem Durchflussweg keine Kalibrierungsverschiebung bis +20 Grad Neigung
Relative Gasfeuchtigkeit: 0 bis 70 % RH
Minimaler Druckabfall

SLM	≠¤9	10-30	50	60-100	200	500	1000
psid	1.1	3.9	8	18.9	10	12	15