Solutions de surveillance pour les salles HEPA/ULPA de semi-conducteurs

équipements et du personnel. Salle HEPA/ULPA d'une usine de semi-conducteurs Les salles HEPA/ULPA se trouvent dans l'espace situé au-dessus d'une salle blanche de semi-conducteurs. Cette zone est équipée d'un système de filtration qui supprime les particules provenant de l'environnement extérieur. Un filtre HEPA (High Efficiency Particulate Air) et/ou un filtre ULPA (Ultra Low Particulate Air) est utilisé pour piéger les petits contaminants et les empêcher de pénétrer dans la salle blanche de l'usine. La salle blanche de l'usine doit être exempte de particules, car c'est là que sont fabriqués les dispositifs semi-conducteurs tels que les transistors microscopiques. Une particule aussi petite qu'une molécule provenant d'un parfum peut détruire l'un de ces transistors, ce qui rend une

l'espace. Pression différentielle Manomètre à pression différentielle Magnehelic®, série 2000 Les manomètres, tels que le manomètre Magnehelic® de DwyerOmega, permettent de vérifier rapidement et visuellement le statut de la pression à travers les filtres. Si la pression différentielle à travers un filtre est faible, cela signifie que le débit d'air est relativement libre. En revanche, si la différence de pression à travers le filtre est importante, cela signifie que le débit d'air est réduit en raison d'une obstruction, telle qu'une accumulation de particules sur le filtre. La surveillance de la pression différentielle permet de déterminer lorsque il est nécessaire de remplacer le filtre ou si des obstructions et des dysfonctionnements du registre sont présents. Le manomètre Magnehelic®, qui a fait ses preuves, est doté d'un boîtier durable et robuste avec des composants de haute qualité pour une longue durée de vie. DwyerOmega propose également une version à précision élevée du manomètre Magnehelic®, qui offre une précision de 1 % de

en 6 points. Vitesse de l'air Transmetteur de vitesse de l'air avec sonde à distance, série 641RM La mesure de la vitesse de l'air entrant et sortant de l'espace peut aider à déterminer le nombre de renouvellements d'air par heure (ACH). Le nombre de renouvellements d'air par heure correspond au nombre de fois par heure où l'air d'une salle blanche est remplacé par de l'air propre, filtré et traité. Le transmetteur de vitesse de l'air série 641RM avec sonde à distance est équipé d'un capteur de débit massique chauffé très précis avec une sonde à distance. Le câble de 1,8 mètre de l'appareil relie la sonde de détection au boîtier

accessible. Monoxyde de carbone (CO) Transmetteur de monoxyde de carbone, Série CMT200 Les filtres HEPA n'étant pas conçus pour filtrer les particules gazeuses telles que le monoxyde de carbone, il est important de surveiller et de contrôler le monoxyde de carbone dans l'espace. Cela permettra d'éviter que les particules de monoxyde de carbone ne contaminent la salle blanche. Le transmetteur de monoxyde de carbone série CMT200 fournit une sortie de courant ou de tension

d'un moniteur d'état des salles permet de surveiller plusieurs paramètres et jusqu'à trois salles à partir d'un emplacement central. Le moniteur d'état des salles critiques StabiliSENSE™ série RSMC est conçu pour les applications critiques à faible pression différentielle qui nécessitent une surveillance et une alerte rigoureuses de la pression. Le RSMC est un système complet doté d'une interface utilisateur graphique à écran tactile qui affiche un choix de 3 paramètres : pression, humidité relative, température ou renouvellement d'air. Il affiche également l'état des portes (ouvertes/fermées). Les changements de couleur de l'affichage graphique permettent de déterminer clairement si les paramètres fonctionnent dans la plage acceptable (vert), dans la plage d'alerte (jaune) ou s'ils ont dépassé la plage de fonctionnement acceptable (rouge). Lorsque c'est critique,