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FMA6500-Series
Contrôleur de débit massique avec norme RS485 et fonctions d'alarme
- Modes numérique et analogique fonctionnant simultanément
- Configurations de débit programmables
- RS485 standard, capacité multi-points jusqu’à 256 unités
- Stocke les données d’étalonnage pour jusqu’à 10 gaz
FMA6500-Series
À partir de
C$
3,529.13
Aperçu du produit
- Précision ± 1 %
- Précision Précision (y compris la linéarité) : 15 à 25°C (59 à 77°F) et 0,7 à 4 bar (10 à 60 psia) : ± 1 % de l’échelle complète, 0 à 50°C (32 à 122°F) et 0,3 à 10 bar (5 à 150 psia) : ± 2 % de l’échelle complète, ± 1 % de l’échelle complète à une température et une pression spécifiques avec étalonnage spécial
- Fonctions supplémentaires 1 2 relais SPDT 1A
- Étalonnage Certificat NIST à 10 points
- Protection des circuits Inversion de polarité ; limite de courant ; fusible réarmable
- Vanne de régulation Électrovanne
- Interface de données RS485
- Remarque sur l'interface de données RS485, standard; RS232, optionnel
- Type d'affichage Aucune
- Connexion électrique Connecteur miniature mâle Sub-D
- Puissance électrique 0 à 5 V
- Caractéristiques nominales du boîtier Niveau d'installation II/Degré de pollution II (CEI 60664)
- Taux de fuite sous vide moins de 10^⁻9 cc He/s
- Compatibilité avec les fluides Air sec propre / gaz inerte, Air ambiant / CVAC, Gaz inertes / non réactifs
- Pression de Fonctionnement, max 500 psi
- Pression de Fonctionnement, min 0 psi
- Température de fonctionnement, max 50 °C
- Température de fonctionnement, min 5 °C
- Pression optimale 25 psi
- Détails de la sortie Linéaire 0 à 5 Vcc (impédance de charge min. 2000 Ω); 0 à 10 Vcc (impédance min. 4000 Ω); option 4 à 20 mA (résistance de boucle de 0 à 500 Ω)
- Signal de sortie Tension
- Coefficient de pression 0,01 % FS/psi
- Pression, max 50 psi
- Taille du raccordement au process 1/4 po
- Répétabilité ± 0,15 %
- Temps de réponse 1 s
- Remarque sur le temps de réponse 0,6 à 1,0 s avec une précision de ± 2 % du point de consigne sur une plage de 20 % à 100 % de la pleine échelle
- ID de série FMA6500-Series
- Courant d'approvisionnement Jusqu'à 450 mA
- Coefficient de température 0,05 % FS/°C
- Rapport de réduction 50:1
- Débit volumétrique, min 0.2 SCCM
Les régulateurs de débit numériques à microprocesseur permettent de programmer, d'enregistrer et d'analyser les débits de divers gaz à l'aide d'un ordinateur via une interface RS485 (RS232 disponible en option). Les contrôleurs peuvent être programmés pour diverses fonctions de contrôle, notamment le point de consigne du débit, le totalisateur, l'arrêt du totalisateur, la lecture du totalisateur, le totalisateur à partir du débit préréglé, l'arrêt au total préréglé, la remise à zéro automatique, etc.
Principes de fonctionnement
Les gaz mesurés sont divisés en deux voies d'écoulement laminaire, l'une passant par le conduit d'écoulement primaire et l'autre par un tube capillaire. Les deux conduits d'écoulement sont conçus pour garantir des écoulements laminaires et, par conséquent, le rapport entre leurs débits est constant. Deux enroulements de détection de température de précision sur le tube capillaire sont chauffés et, lorsque l'écoulement a lieu, le gaz transporte la chaleur des enroulements amont vers les enroulements aval. La différence de température qui en résulte est proportionnelle à la variation de résistance des bobines du capteur. Un pont de Wheatstone est utilisé pour surveiller le gradient de résistance dépendant de la température sur les bobines du capteur, qui est linéairement proportionnel au débit instantané. La sortie du pont de Wheatstone est convertie en format numérique à l'aide d'un convertisseur analogique-numérique (CAN) 12 bits. Un microprocesseur intégré et une mémoire non volatile stockent tous les facteurs d'étalonnage et contrôlent directement une vanne électromagnétique proportionnelle. Le système de contrôle numérique en boucle fermée compare en permanence le débit massique de sortie avec le débit sélectionné. Les écarts par rapport à la valeur de consigne sont corrigés par des ajustements de la vanne de compensation, l'algorithme PID maintenant ainsi les paramètres de débit souhaités avec un haut degré de précision. Des signaux de sortie de 0 à 5 Vcc ou de 4 à 20 mA sont générés pour indiquer les débits massiques moléculaires du gaz mesuré.
Interface
L'interface numérique fonctionne via RS485 (RS232 en option) et donne accès aux données internes applicables, notamment le POINT DE CONSIGNE DE DÉBIT, le DÉBIT RÉEL, les RÉGLAGES DU ZÉRO et les RÉGLAGES DU TABLEAU DE LINÉARISATION. L'interface analogique fournit des entrées et sorties de 0 à 5 Vcc, 0 à 10 Vcc et 4 à 20 mA.
Auto Zero
Le FMA6500 remet automatiquement à zéro la dérive du point zéro lorsque le point de consigne du débit est inférieur à 2 % de la pleine échelle. Pour permettre cette fonction, la vanne de régulation doit se fermer complètement dans cette condition. Des dispositions sont prises pour désactiver, forcer ou enregistrer l'auto-zéro actuel via des commandes numériques.
Totalisateur
Le micrologiciel du FMA6500 offre des fonctions permettant d'enregistrer la quantité totale de gaz. La masse totale de gaz est calculée en intégrant le débit réel de gaz par rapport au temps. Des commandes d'interface numérique sont fournies pour : RÉGLER le totalisateur sur ZÉRO ; DÉMARRER /ARRÊTER la totalisation du débit ; LIRE le totalisateur ; DÉMARRER le totalisateur à un débit prédéfini ; ARRÊTER le débit à un total prédéfini.
Étalonnage multigaz
Le FMA6500 est capable de stocker les données d'étalonnage primaires pour un maximum de 10 gaz. Cette fonctionnalité permet d'étalonner le même FMA6500ST pour plusieurs gaz tout en conservant la précision nominale pour chacun d'entre eux.
Principes de fonctionnement
Les gaz mesurés sont divisés en deux voies d'écoulement laminaire, l'une passant par le conduit d'écoulement primaire et l'autre par un tube capillaire. Les deux conduits d'écoulement sont conçus pour garantir des écoulements laminaires et, par conséquent, le rapport entre leurs débits est constant. Deux enroulements de détection de température de précision sur le tube capillaire sont chauffés et, lorsque l'écoulement a lieu, le gaz transporte la chaleur des enroulements amont vers les enroulements aval. La différence de température qui en résulte est proportionnelle à la variation de résistance des bobines du capteur. Un pont de Wheatstone est utilisé pour surveiller le gradient de résistance dépendant de la température sur les bobines du capteur, qui est linéairement proportionnel au débit instantané. La sortie du pont de Wheatstone est convertie en format numérique à l'aide d'un convertisseur analogique-numérique (CAN) 12 bits. Un microprocesseur intégré et une mémoire non volatile stockent tous les facteurs d'étalonnage et contrôlent directement une vanne électromagnétique proportionnelle. Le système de contrôle numérique en boucle fermée compare en permanence le débit massique de sortie avec le débit sélectionné. Les écarts par rapport à la valeur de consigne sont corrigés par des ajustements de la vanne de compensation, l'algorithme PID maintenant ainsi les paramètres de débit souhaités avec un haut degré de précision. Des signaux de sortie de 0 à 5 Vcc ou de 4 à 20 mA sont générés pour indiquer les débits massiques moléculaires du gaz mesuré.
Interface
L'interface numérique fonctionne via RS485 (RS232 en option) et donne accès aux données internes applicables, notamment le POINT DE CONSIGNE DE DÉBIT, le DÉBIT RÉEL, les RÉGLAGES DU ZÉRO et les RÉGLAGES DU TABLEAU DE LINÉARISATION. L'interface analogique fournit des entrées et sorties de 0 à 5 Vcc, 0 à 10 Vcc et 4 à 20 mA.
Auto Zero
Le FMA6500 remet automatiquement à zéro la dérive du point zéro lorsque le point de consigne du débit est inférieur à 2 % de la pleine échelle. Pour permettre cette fonction, la vanne de régulation doit se fermer complètement dans cette condition. Des dispositions sont prises pour désactiver, forcer ou enregistrer l'auto-zéro actuel via des commandes numériques.
Totalisateur
Le micrologiciel du FMA6500 offre des fonctions permettant d'enregistrer la quantité totale de gaz. La masse totale de gaz est calculée en intégrant le débit réel de gaz par rapport au temps. Des commandes d'interface numérique sont fournies pour : RÉGLER le totalisateur sur ZÉRO ; DÉMARRER /ARRÊTER la totalisation du débit ; LIRE le totalisateur ; DÉMARRER le totalisateur à un débit prédéfini ; ARRÊTER le débit à un total prédéfini.
Étalonnage multigaz
Le FMA6500 est capable de stocker les données d'étalonnage primaires pour un maximum de 10 gaz. Cette fonctionnalité permet d'étalonner le même FMA6500ST pour plusieurs gaz tout en conservant la précision nominale pour chacun d'entre eux.
PDF & Manuels
Accessoires
accessories
Connecteur D à 25 broches avec fil de 1,8 m (6 pi) vers DM à 15 broches, branche de 1,8 m (6 pi), fil vers port d’ordinateur dénudé
C$191.46 / each
0 En stock
Alimentation européenne avec connecteur D femelle 25 broches 230 Vac (±15 Vcc) dérivation câble de 1,8 m (6 pi) vers port ordinateur dénudé
C$705.90 / each
0 En stock
Alimentation secteur UK avec connecteur D femelle 25 broches 230 Vac (±15 Vcc) dérivation 1,8 m (6 pi) câble vers port ordinateur dénudé
C$545.58 / each
0 En stock
cables
Câble de remplacement 25 broches D-conn avec fil de 1,8 m (6 pi), dérivation vers l'alimentation électrique
C$150.80 / each
2 En stock
Alimentation avec connecteur D femelle 25 broches 110Vac (±15 Vcc) dérivation câble 1,8 m (6 pi) vers interface analogique
C$634.09 / each
0 En stock
Alimentation avec connecteur D femelle 25 broches 110 Vac (±15 Vcc) dérivation 1,8 m (6 pi) câble vers port ordinateur dénudé
C$545.58 / each
0 En stock
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We want a device to flow between 0.5 and 1.5 sccm Hydrogen. What sort of resolution can we achieve on the device with 0-10sccm FS? The specs say the accuracy is +/- 1%. Does that mean we can adjust in 0.1 sccm increments? What does turndown ratio mean?
Thank you for your inquiry. You can achieve at least 0.1 or 0.01 within the 10 sccm controller and the turndown ratio refers to the minimum flow rate it will control within the accuracy. Basically, divide the max flow rate per the part number by the turndown ration value provided which equals the minimum flow rate.
Date published: 2024-02-23